擴散離心泵主要是氣體分子沿著蒸氣方向做高速運動，氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過多次激烈碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進氣多級壓縮，最后由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環往復工作從而達到抽氣目的。其實真空泵家族的重要主城部分。
    它的主要特點是：
   1、前級泵所產生的壓強高于最大反壓強，則擴散泵就不能正常工 作。
   2、擴散離心泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算而來。
   3、抽氣能力大，抽速從190L/S至49000L/S范圍內可供選擇。
   4、擴散離心泵可長時間穩定連續工作。
   目前，國內的許多研究單位和生產廠家正在設計和研究擴散泵，隨著新技術、新材料、新方法的發展和應用，性能更好的、能滿足各種工業需要的、適應能力強的擴散離心泵必將生產出來。它的發展不僅僅是我國工業史上所期待的，也是整個人類史所期待的。相信在各界共同努力下，擴散泵的在真空泵界必將有自己的一片天。